소형화, 미세화되는 전자소자는 주요 제조공정으로 박막을 증착 후, 불필요한 부분을식각하는 공정을 여러 번 반복하여 제조됩니다. 여기서 박막이란 대부분 1 마이크로미터 이하의 얇은 막을 뜻합니다. 이러한 박막을 입히는 공정을 증착이라고 합니다. 증착의 종류에는 아래 그림과 같이 화학기상증착법(CVD), 원자층증착법(ALD), 물리기상증착법(PVD)이 있습니다.
전자소자 박막 증착 방법
지오엘리먼트의 전구체 기화이송 사업부 제품의 시장은 전자소자의 박막증착 양산용 ALD 공정에서 사용되는 부품 시장입니다. ALD 공정은 CVD 공정과 비교할 때 우수한 단차피복성(step coverage, 증착한 박막의 밑면과 측면의 두께 비율, 균일한 증착 정도를 나타내는 척도)을 가지고 있기 때문에 점점 미세화되고 있는 전자소자의 양산공정에 유리하며 점차 CVD공정을 대체하고 있습니다. ALD공정의 원료는 상온에서 액체 혹은 고체로 존재하는 전구체를사용하며 전자소자의 양산공정을 위하여 안정적으로 기화 공급을 하여야 하며 지오엘리먼트의 전구체 기화이송 기술제품은 ALD 공정에 사용되는전구체의 보관 및 기화이송 과정에 사용되는 부품입니다.
한편, 지오엘리먼트의 스퍼터링 타겟의 수요처인 PVD 공정은 전자소자의 배선공정에 주로 사용되며 높은 생산성으로 꾸준히 시장이 성장하고 있습니다. 스퍼터링 타겟은 PVD의 박막증착용 원료이자 부품으로 소모성 원자재로 분류되고 있습니다.
지오엘리먼트의 전방산업인 반도체, 디스플레이 태양전지 등 전자소자 산업은 현재 꾸준한 성장을 하고 있는 매우 중요한 산업이며 대부분의 국가에서 기간산업으로 분류하여 경쟁적으로 육성하고 있기 때문에 지오엘리먼트의 시장은 계속 성장할 것으로 기대하고 있습니다.
지오엘리먼트의 주가는 21800원이다.
현재 지오엘리먼트는 각종 전자소자 양산의 핵심 공정인 박막증착 공정과 금속배선 공정에 사용되는 물리증착의 원소재인 스퍼터링 타겟과 원자층 증착의 원소재인 전구체(프리커서)의 기화 이송을 위한 핵심 부품과 장비 솔루션을 제공하는 부품 소재 사업을 영위하고 있습니다.
지오엘리먼트의 제품과 서비스는 크게 전구체 기화이송 기술 사업부문과 스퍼터링 타겟 사업부문으로 구성되어 있습니다. 전구체 기화이송 사업부문은 ALD(Atomic Layer Deposition)이라고 부르는 원자층 증착의 원소재인 전구체의 기화 이송을 위한 캐니스터,초음파레벨센서, 기화기 등 각종 부품과 조립체이자 모듈인 펩(PEB: Precursor Evaporation Box) 등을 제조 판매하고 있으며 지오엘리먼트가 제공하는 전구체 기화이송 기술 부문은 전구체에 대한 높은 이해를 기반으로 전자소자의 양산공정에 최적화된 솔루션을 제공하고 있습니다. 또한 스퍼터링 타겟 사업부문은 전자소자의 양산공정에 사용되는 스퍼터링 타겟 원소재를 지오엘리먼트가 직접 제조하여 판매하고 있습니다.
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